获TOPCon4.41亿工艺整线订单，CVD打开半导体业务成长空间

微导纳米(688147)

(资料图)

事件概况

微导纳米于 2023 年 6 月 13 日发布公告： 公司近日与浙江国康新能源科技有限公司签署了 TOPCon 电池设备销售合同，合同金额总计约为人民币 4.41 亿元（含税）。

光伏： ALD 持续领先，在手订单充沛

本次公司和国康爱康签订的 TOPCon 电池设备，包括但不限于 ALD设备、 PEALD 设备、 PECVD 设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等，设备从 2023 年 6 月 30 日开始交付。 该合同的签订标志着公司客户拓展和 TOPCon 电池工艺整线设备获得了突破性的进展。公司光伏设备订单随着 TOPCon 的快速扩产大幅增加，为公司的业

绩增长奠定坚实基础。 截止 2022 年 12 月底，公司在手专用设备订单22.93 亿元，其中光伏设备订单 19.67 亿元，半导体设备订单 2.57 亿元，其他设备订单 6,881 万元。 2023 年 1 月初至 2023 年 4 月 24 日，公司新增专用设备订单 22.74 亿元，其中新增半导体设备订单 2.42 亿元，新增光伏设备订单 20.16 亿元，新增其他设备订单 1,580 万元。

半导体： 应用领域不断拓宽， CVD 产品拓宽成长空间

公司是国内首家将 High-k 的 ALD 工艺成功量产并应用于 28nm 节点前道生产线的国产设备公司，并已获得客户重复订单认可，填补了我国在该项半导体设备上的空白。 此外，公司 2022 年推出的应用于逻辑芯片、传统和新型存储芯片、 CMOS 芯片、 MEMS 等领域的多款 ALD 设备也取得了客户订单。

iTronix 系列 CVD 系统，是公司新产品系列，适用于沉积氧化物、氮化物等薄膜材料，部分产品已经发往客户处进行试样验证。 根据 SEMI 行业统计，半导体薄膜技术领域，ALD 约占镀膜板块的 11%市场份额， CVD约占镀膜板块的 57%市场份额， 市场空间广阔。 公司以硬掩模工艺为切入点，解决关键工艺卡脖子问题，通过差异化策略开发 CVD 领域的关键设备。

投资建议

我们预测公司 2023-2025 年营业收入分别为 18.57/31.81/44.12 亿元，归母净利润分别为 1.76/3.80/5.83 亿元， 以当前总股本 4.54 亿股计算的摊薄 EPS 为 0.39/0.84/1.28 元。公司当前股价对 2023-2025 年预测 EPS 的 PE倍数分别为 140/65/42 倍，考虑到公司在 ALD 领域具有领先优势，且在光伏及半导体领域拓展具备较大业绩弹性， 保持“增持”评级。

风险提示

1）光伏及半导体行业后续扩产不及预期的风险。 2）技术迭代带来的创新风险。 3）国内市场竞争加剧的风险。 4）核心技术人员流失或不足的风险。5）测算市场空间的误差风险。 6）研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。